高度のクリーン環境を完備


ISOクラス1クリーンブース

興研製「オープンクリーンシステムKOACH」

エアシャワー完備

AIRTECH製「エアシャワー EAS」



自動分注器(2台保有)

ニチリョー製「NichiMaretCUBE」


溶液中の物質を段階的に希釈が可能。

必要なサンプルだけ抽出するチェリーピッキングが可能。

交換可能な分注ノズルヘッドにより様々な用途に対応。



卓上型液剤塗布ロボット

和研薬製「3033N-BJ」 ※特注品


狙った膜厚100μ以下の高精度非接触ディスペンス。

非接触型、低粘度から高粘度まで対応可能。

基板上の狭小エリアへのアプローチや、禁止箇所を

塗分けながら超薄膜の高精度塗布が可能。